PECVD Tube Furnace
Ang PECVD tube furnace ay isang plasma gas phase deposition tube furnace system, na binubuo ng isang quartz reaction chamber, isang radio frequency power supply, isang multi-channel na gas mixing system, isang vacuum unit, at isang reaction control system. Gumagamit ang furnace ng high-purity na alumina fiber material, at ang ibabaw ay pinahiran ng imported na high-temperature na alumina coating upang pahabain ang buhay ng instrumento at mapabuti ang kahusayan sa pag-init. Ang isang radio frequency induction device ay naka-install sa harap ng tradisyonal na chemical vapor deposition upang i-ionize ang reaction gas at makabuo ng plasma. Ang mataas na aktibidad ng plasma ay nagpapabilis sa reaksyon. Ito ay may mahusay na pagkakapareho at repeatability, maaaring bumuo ng mga pelikula sa isang malaking lugar, maaaring bumuo ng mga pelikula sa mababang temperatura, may mahusay na hakbang coverage, at madaling kontrolin ang komposisyon at kapal ng pelikula at madaling industriyalisado. Ito ay malawakang ginagamit sa paglaki ng mga manipis na pelikula gaya ng graphene, silicon monoxide, silicon nitride, silicon oxynitride, at amorphous silicon (A-SI: H).
| Laki ng tubo ng hurno (MM) | Temperatura ng pagpapatakbo (°C) | Vacuum degree | Power(KW) | Boltahe | Mga elemento ng pag-init | Rate ng pag-init |
| Φ60*2200 | 1100°C | -0.1MPA 10PA 6.67*10- 4PA | 3 | 220/380V | Kawad ng paglaban | 1-20°C/MIN |
| Φ80*2200 | 3 | |||||
| Φ100*2200 | 4 | |||||
| Φ120*2200 | 5 |

-
Ang isang furnace lining ay bihirang mabigo dahil ang furnace ay umabot sa isang imposibleng temperatura. Karaniwan itong nabigo dahil pinili ang refractory na materyal para sa maling halo ng init, chemistry, load, at thermal cycling. Ang mga sintomas ay pamilyar: spalling sa mainit na mukha, bukas na mga joints, corroded anchor, at isang shell na tahimik na kumukonsumo ng gas o kuryente sa loob ng maraming buwan. Maikling sagot: piliin ang furnace refractory material...



